原子及近原子尺度制造典型技术1:电子束、离子束纳米可控制造
来源:中国科协—原子及近原子尺度制造青年科学家沙龙 浏览次数: 发表日期:2021-12-30

电子束、离子束纳米可控制造

中国科协-原子及近原子尺度制造青年科学家沙龙科普系列

(视频由广东工业大学提供)

电子束制造技术:指在真空条件下,利用电子枪中产生的电子经高压加速,经聚焦后得到高能量密度的极细束流,利用该束流开展电子束曝光、电子束蚀刻与电子束辐照等制造,例如利用透射电子显微镜和扫描电子显微镜的电子束开展固态纳米孔可控制造。

离子束制造技术:指在真空条件下,将离子源产生的具有较高能量的离子束射到材料表面时,所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应实现制造,目前常用的离子源有镓离子、氖离子、氩离子和氦离子等,其中氦离子束束斑直径约为0.35nm,是实现原子与近原子制造的理想工具。




版权所有(C)中国机械工程学会极端制造分会 备案号: 蜀ICP备12029719号-5

点击关闭